摘要：本实用新型涉及一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，属于真空镀膜和表面加工领域，可应用于各种真空蒸镀设备的腔室内；一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，所述自动送料装置包括真空腔室，还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与∮自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元；本实用新型的有益效果：通过调速电机♂提供动力，可持续进行送丝，实现连续镀膜。节省了很多时间、人◣力和物力。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京泰科诺科技有限公司;
- 发明人施戈;彭建;陈良贤;
- 地址102212 北京市昌平区崔村镇西辛峰工业园村南6区1号
- 申请号CN201420788004.6
- 申请时间2014年12月11日
- 申∑请公布号CN204251704U
- 申请公布时间2015年04月08日
- 分类号C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;
