摘要：本发明涉及一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，属于真空镀膜和表面加工领域，可应用于各种真空蒸镀设备的腔室内。所述自动送料装置包括真空腔室，还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元。本发明的有卐益效果：通过调速电机提供动力，可持续进行送丝，实现连续镀膜。节省了很多时间、人力和物力。并通过感控装置，可实现自动控制连续镀膜的稳定性及连续性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京泰科诺科技有限公司;
- 发明人施戈;彭建;陈良贤;
- 地址102212 北京市昌平区崔村镇西辛峰工业园村南6区1号
- 申请号CN201410768343.2
- 申请时间2014年12月11日
- 申请公布号CN104388909A
- 申请公布时间2015年03月04日
- 分类号C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;
