摘要：本发明属于流体阀门技术领域，尤其涉及一种可调节式真空限流阀。用于真空腔室和真空泵系统之间的限流阀，对真空系统的泵系统和真空腔的抽速进行限制。该限流阀由厚壁法兰、步进电机、电机驱动器、主轴、调节□装置转板组成。其中，厚壁法兰的一侧安装步进电机和电机驱动器，步进电机和电机驱动器通过支杆和螺母进行固定；步进电机通过螺钉与主轴固接，主轴通过凸块与横向支杆和横向支杆轴连接，凸块由螺钉固定，横向支杆和横向支▲杆轴分别由螺钉和螺母固定，转板通过拉板、转轴和螺钉与调节装置固接。本⌒ 发明的有益效果是：该限流阀的结构合理，既∮能达到稳定抽速的作用，又具有体积精巧，成本低和长寿命ㄨ的特点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京泰科诺科技有限公司;
- 发明人陈良贤;施戈;
- 地址100096 北京市海淀区西三旗上奥世纪中心2A-1411
- 申请号CN201010191074.X
- 申请时间2010年05月26日
- 申请◥公布号CN101846190A
- 申请ぷ公布时间2010年09月29日
- 分类号F16K1/18(2006.01)I;F16K31/04(2006.01)I;F16K17/20(2006.01)I;
