摘要：本实用新型公开了一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机，所述真空夹层炉壁由之间具有真空夹层的内炉壁和外炉壁组成，处于所述真空电弧镀膜机的真空镀膜室内的多支加热管能分组控制。采用本实用新型的真空电弧镀膜机后，发热管功率可从75KW降低到45KW，而且45KW分组按实际炉温分段投入，由外部计算机精确控温，不会造成过大热惯性冲击，减少能源浪费和耗损，不用水冷，不会让冷却水带走炉内大量热，既节能又减排；减少了发热管的数量和功率，省去了炉体内的冷却水循环系统，可降低设备造价和辅助设备的投资。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523838 广东省东莞市大岭山颜屋村第四工业区
- 申请号CN201220167666.2
- 申请时间2012年04月19日
- 申请公布号CN202576548U
- 申请公布时间2012年12月05日
- 分类号C23C14/32(2006.01)I;
