摘要：本发明涉及一种汽轮机叶片材料表面多层抗点蚀涂层的制备方法，技术特征在于：以纯Ti作为过渡层，TiN作为中间层，表面层由TiAlN层组成；涂层的制备方法包括：工件表面清洗、离子轰击清洗、制备过渡层、制备中间层和制备表层TiAlN层。本发明中涉及的涂层采用带有磁过滤的电弧离子镀设备制备，靶材为纯Ti靶和纯Al靶，工作气体采用氩气，反应气体采用氮气。本发明涂层的显微硬度为1800～2500HV0.1，涂层表面光滑致密、涂层均匀、大颗粒较少，涂层与基体结合力的临界载荷为15～20N，涂层与基体的结合力良好，涂层的厚度为2～3μm。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人张程煜;曹华伟;乔生儒;折洁;韩栋;李玫;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201110274738.3
- 申请时间2011年09月15日
- 申请公布号CN102345099B
- 申请公布时间2014年02月05日
- 分类号C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;
