摘要：一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统，包括真空镀膜室、制冷盘管、高真空机组和低真空预抽机组，其特征在于：所述的高洁净真空抽气系统还包括高真空抽气管道、高真空抽气管道预抽机组，所述低真空预抽机组通过预抽真空管道与所述真空镀膜室相连通，所述高真空抽气管道与真空镀膜室相连通，高真空抽气管道与真空镀膜室的连接处设有真空闸板阀，所述制冷盘管安装在高真空抽气管道内部，所述高真空抽气管道预抽机组与高真空抽气管道相连通，所述高真空机组与高真空抽气管道相连通，高真空机组与高真空抽气管道的连接处设有高真空阀。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201020597023.2
- 申请时间2010年11月09日
- 申请公布号CN201857423U
- 申请公布时间2011年06月08日
- 分类号C23C14/22(2006.01)I;
