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                一种多波长入射单发椭偏测量方法

                  摘要:本发明涉及一种多波长入射单发椭偏测量方法,首先提供宽光谱激光光源、宽带偏振片、样品、扩束镜、宽带1/4波片、晶体斜劈、宽带检偏※器、狭缝、透射光栅、成像屏、面阵相机以及计算机,通过双折射晶体斜劈的偏︾光干涉将光偏振态的变化转换成一维条纹光斑的移动,采取合理光路设计将多波长入射光对应的条纹分布¤在另外一个维度上,利用图像技术对光斑内的多组条纹进◤行定位和处理,在单次测量中即可获得各个波长对应的偏振态信息。本发明的测试方法ㄨ无机械旋转或光学调制器件,而且测量结果与光强波动无关,可以极♀大减小系统的测量误差,提高测◣量的稳定性。本发明的测量速度只受限于相机采集速度,结合ぷ高速线阵相机,可以将时间分辨率缩短到毫秒以下。
                • 专利类型发明专利
                • 申请人福州大学;
                • 发明人马靖;许灿华;裴丽燕;邱鑫茂;吕佩伟;
                • 地址350108 福建省福州市闽侯县上街镇【大学城学园路2号福州大学新√区
                • 申请号CN201510830357.7
                • 申请时间2015年11月25日
                • 申请公布号CN105403514A
                • 申请公布时⌒ 间2016年03月16日
                • 分类号G01N21/21(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I;