摘要：本发明公开了一种用于深紫外光刻的激光准直扩束系统，包括第一柱面镜、第二柱面镜、平面反射镜和球面镜，其中球面镜分别与第一柱面镜和第二柱面镜组成两个准直扩束器，用于对激光器■发射出的激光光束进行准直扩束；激光光束依次经过第一柱面镜和第二柱面镜，接着再被〗平面反射镜反射，然后再经过球面镜被送入传输光路，最终进入光刻机的光源输入口。本激光准直扩束系统较之其他方式结构更为紧凑，适用于安装集成，可以适应不同的传输距离，对距离调节的精度要求不高，通过简单的调▽节装置即可实现，使用方便且成本低。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人李小平;陈权;雷敏;章伟;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410837282.0
- 申请时间2014年12月29日
- 申请公布号CN104516117A
- 申◥请公布时间2015年04月15日
- 分类号G02B27/30(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;
