摘要：本发明公开了一种微型精确镀膜系统，所述微型精确镀膜系统包括反应腔系统、反应源系统和抽气系统，上部分为反应腔系统，下部分为反应源系统，反应腔系统与反应源系统密封连接，抽气系统与反应腔系统密封连接。本发明首次提出一种微型精确镀膜系统的一体化设计，专门适用于研究性领域工具化使用，本装置的优点是体积小不占空间，外观尺寸只有350*350*400?mm，可直接放于桌面上；反应腔体实际空间小，且采用烘烤式加热方式，温场均匀，节约反应源用量；操作简单，只需输入沉积薄膜厚度，系统会自动匹配参数运行；相对于市面在售镀膜系统，设备使用以及维护成本低。
- 专利类型发明专利
- 申请人无锡迈纳德微纳技术有限公司;
- 发明人左雪芹;梅永丰;徐涛;
- 地址214028 江苏省无锡市新区长江南路35号空港产业园科技商务中心B栋603室
- 申请号CN201410202912.7
- 申请时间2014年05月15日
- 申请公布号CN103993295B
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号C23C16/46(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
