摘要：本发明提供了一种太阳能电池钝化层分层镀膜方法和装置，在太阳能电池生产工艺中引入原子层沉积设备(ALD)，使用ALD和PECVD以达到分层镀膜的装置和方法。沉积氧化铝膜的电池片其开路电压、转换效率、填充因子等参数较正常生产电池片基本没有变化，沉积了氧化铝膜的电□ 池片的短路电流平均值均比正常工艺生产的电池片的短路电流平均值高。
- 专利类型发明专利
- 申请人无锡迈纳德微纳技术有限公司;
- 发明人左雪芹;梅永丰;王永文;
- 地址214028 江苏省无锡市新区经一路8号209室
- 申请号CN201110419376.2
- 申请时间2011年12月14日
- 申请公布号CN102420272B
- 申请公布时间2013年11月06日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;
