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                一种太阳能电池钝化层分层镀膜方法和装置

                  摘要:本发明提供了一种太阳能电池钝化层分层镀膜方法和装置,在太阳能电池生产工艺中引入原子层沉积设备(ALD),使用ALD和PECVD以达到分『层镀膜的装置和方法。沉积氧化铝膜的电池片其开路电压、转换效率、填充因子等参数较正常生产电池片基本没有变化,沉积了氧化铝膜的电池片的ζ短路电流平均值均比正常工艺生产的电池片的短路︻电流平均值高。
                • 专利类型发明专利
                • 申请人无锡迈纳德微纳技术有限公司;
                • 发明人左雪芹;梅永丰;王永文;
                • 地址214028 江苏省无锡市新区经一路8号209室
                • 申请号CN201110419376.2
                • 申请时间2011年12月14日
                • 申请公布号CN102420272A
                • 申请公布时间2012年04月18日
                • 分类号H01L31/18(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;