摘要：本发明公开了一种基于热膨胀流的MEMS三轴陀螺及其加工方法，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括上密封层、下基底层、中间检测层；所述中间检测层上有“十”字检测腔及位于检测腔内的金属电阻桥加热元件和金属电阻桥热敏元件。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，采用阶梯结构的检测层、“十”字型检测腔以及悬空的金属电阻桥，可实现空间三轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，并且可消除Z轴加速□ 度输入对角速度信号测量的干扰，因此实现了基于热膨胀流的MEMS陀螺的多自由度→测量。另外，该微陀螺的检测层、基底层以及“十字”检测腔可▲采用MEMS硅微加工工艺形成，因此还具有尺寸小、功耗低及成本低等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人西⌒ 北工业大学;
- 发明人常洪龙;巩向辉;王莎莎;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201410140298.6
- 申请时间2014年04月09日
- 申请公布号CN103900544A
- 申∮请公布时间2014年07月02日
- 分类号G01C19/56(2012.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
