摘要：本发明公开了一种微气泡发生器及其制备方法。微气泡发生器包括衬底、两个双层石墨烯电极和碳纳米管；两个双层石墨烯电极位于衬底上，电◣极间距为1～8μm，碳纳米管连接两个双层石墨烯电极，用作加热组件。制备方法包括如下步骤：在生长有双层石墨烯的金属箔表面旋涂PMMA；去除金属箔，将PMMA保护的双层石墨烯转移至衬底上，热处理使双层石墨烯与衬底紧密结合；除去PMMA；氧等离子体反应刻蚀双层石墨烯，得到两个双层石墨烯电极以及连接两个电极的双层石墨烯纳米带；在真■空条件下进行退火处理，使双层石墨烯纳米带边缘闭合形成碳纳米管，完成微气泡发生器的制备。本发明降低了微气泡发生器的功耗，有效延长了微气泡发生器的寿命，且器件结构简单，设计灵活。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人周文利;邓武竹;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410017400.3
- 申请时间2014年01月15日
- 申请公布号CN103832963B
- 申请公布时间2015年12月09日
- 分类号B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
