摘要：本发明提出一种辅助支撑装置，应用于光刻机的支撑装置。支撑装置包括支撑板、基座和洛伦兹电机。洛伦兹电机固定于基座并支撑支撑板。辅助支撑装置包括膜、气源和控制阀。膜连接于基座，与基座形成气室，用以承载支撑板。气源用以提供气体给气室。控制阀设置于气室的通气孔及气源之间，用以调节气室的气压。本发明在利用洛仑兹电机的同时，利用可移动的膜承载支撑板，通过气动控制气室的压力，以较低频率驱动支撑板，同时发热极小。由于采用气动驱动支撑板，降低洛仑兹电机的出力，从而洛仑兹电机的发热也会大大减少。本发明结构简单，易于控制。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海微电子装备有限公司;华中科技大学;
- 发明人廖飞红;李小平;朱岳彬;秦磊;
- 地址201203 上海市浦东新区张东路1525号
- 申请号CN201210118764.1
- 申请时间2012年04月20日
- 申请公布号CN103375660B
- 申请公布时间2016年11月23日
- 分类号F16F15/023(2006.01)I;
