摘要：本发明公开了一种用于椭偏测量系统中入射角度自动探测的装置，包括用于产生具有偏振态的探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂，用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂，用于支撑起偏臂和检偏臂的基板，其中，基板上设置有若干个位置探测开关，起偏臂和检偏臂上均设置有用于触发位置探测开关的触发装置，起偏臂和检偏臂转动到不同的位置，安装在其上的触发装置将改变位置探测开关的状态，从而获得该入射角度、反射角度的信号，以实现↑起偏臂和检偏臂的位置探测、及入射角度的自动探测。本发明提供的用于椭偏测量系统中角度自动探测的装置和方法结构简单易于实现，具有成本低、快速、高效、自动化、高可靠性的优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京量拓科技有限公司;
- 发明人孟永宏;杨涛;
- 地址100098 北京市海淀区大钟寺东路9号京仪科技大厦C座309室
- 申请号CN201010137774.0
- 申请时间2010年03月30日
- 申请公布号CN101846616B
- 申请公布时间2012年07月04日
- 分类号G01N21/21(2006.01)I;
