摘要:本∴发明涉及荧↙光光谱仪及其控制方法。本发明采用两套以上的图像采集装置,分别采集载物台和/或被测样品的图像,比较不同的图像采集装置所采集的图像的相似度,然后再比较载物台移动前和移动后相邻◎两次获得的相似度来判断前述移动的过程是更加靠近最佳工作位置还是远离最佳工↓作位置,从而调整载物台的移动方向,直至载物台达到最佳工作位置的允许误差①范围内,即可将载物台准确移动至与X光发射系统间隔最佳距离即最佳工作位置上。
- 专利类型发明专利
- 申请人江苏天瑞仪器股¤份有限公司;
- 发明人刘召贵;应刚;胡晓斌;姚栋樑;李玉花;
- 地址215347 江苏省昆山市苇城南路1666号清华科技园天瑞大厦
- 申请号CN200910129547.0
- 申请时间2009年03月26日
- 申请公【布号CN101551346B
- 申请公布时间2011年12月07日
- 分类号G01N23/223(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I;