摘要：本发明涉及一种光栅尺信号误差补偿方法，该误差补偿方法包括以下步骤：使光栅尺的光栅尺带相对光栅尺的读数头连续运动并将经细分电路细分的输出位置信号作为原始位置数据；基于原始位置数据计算光栅尺带相对读数头的精确运动轨迹；基于精确运动轨迹和原始¤位置数据确定光栅尺的细分位置所对⌒ 应的误差补偿数据；基于误差补偿数据对光栅尺的后续位置数据进行补偿。通过采用≡上述方法，无需任何其他的更高精度的位置测量系统，仅通过对装配在实▲际运动系统中的光栅尺的输出位置信号进行分析，便可得』出该系统的位置误差补偿数据。并且可以根据位置误差补偿数据生成误差补偿表，在实▓际测量时通过读取误差补偿表对光栅尺读出的位置数据▽进行补偿，获得高精密的位置↘信息。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市大族电机科技有限公司;
- 发明人高云峰;廖有用;王光能;付晓辉;
- 地址518057 广东省深圳市南山区高新〓技术园北区新西路9号大族激光大楼生产一楼西侧、五楼东侧
- 申请号CN200610063130.5
- 申请时间2006年10月13日
- 申请◥公布号CN101162139B
- 申请公◢布时间2011年09月28日
- 分类号G01B11/02(2006.01)I;G01D5/26(2006.01)I;G01D5/38(2006.01)I;
