摘要:本发明揭露一种三轴运动平台,包括底座,组装于所述底座两端的Y轴运动系统,架设于Ψ 所述底座中部的X轴运动系统,以及⊙固定于X轴运动系统上的Z轴运动系统,其中,所述X轴运动系统、Y轴运动系ζ 统以及Z轴运动系统分别包括直线电机及滑动装置,该滑动装置包括导轨和滑块;所述X轴运动系统还包括一横梁,所述用于驱☆动该X轴运动系统的直线电机和所述导轨固¤定于该横梁上;所述Z轴运动系统还包括一固定架,所述用于驱动该Z轴运动系统的直线电机和所述导轨安装于所述固①定架上。本发明三轴№运动平台不但可以提高系统运行平♂稳性和准确性,而且可以实现负载的高速※、准确定位。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市大族电机科技有限公司;
- 发明人高云峰;廖有用;周尔清;王光能;付晓辉;
- 地址518057 广东省深圳市南山区高新技术园↑北区新西路9号
- 申请号CN200710181804.6
- 申请时间2007年10月12日
- 申请公布号CN101409112B
- 申请公布」时间2012年10月03日
- 分类号G12B9/10(2006.01)I;G12B5/00(2006.01)I;