摘要：本发明公开了一种光栅组微位移传感器及其测量位移的方法，它包括光源、分束器、第一光栅层、第二光栅层、增反层、第一红外光电探测器、第二红外光电探测器、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、依据光电信号计算位移的信号处理模块和向电容平板输送电流的电流驱动模块。本发明依据伍德异常现象，利用两层光栅位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，通过在两光栅层制作多组光栅，每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定，使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同，从而对位移信号细分，测量位移。本发明实现了传感系统的小型化，精度高，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人王晨;白剑;杨恺伦;汪凯巍;
- 地址310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 申请号CN201410637041.1
- 申请时间2014年11月13日
- 申请公布号CN104406525B
- 申请公布时间2017年02月15日
- 分类号G01B11/02(2006.01)I;
