[报告主题及简介]
报告一：无掩模光刻技术最新进展 - 全新亚微米分辨直々写技术在微纳器件制备中的应用
在制备新型微电子、自旋电子学、传感器等器件时，通常№会涉及到光刻工艺。而在诸多曝光技术当中，无掩模曝光技术因其独特的优势和特点，成为当前最为流行高效⌒的一种。与传统掩膜版技术相比，无掩模曝光技术具有高分辨、高对准精度、更加简易操作等诸多优势，能够轻松实现微米、亚微米级精度的光刻♀、套刻，配合各类标准微加工工艺，能够方便快捷地实现各类微结构的制△备。在本※报告中，将重点介绍无掩模光刻技术最新前沿进展，结合来自国内外斯坦福，剑桥，复旦等顶尖科研单位的国际顶级期刊╱研究成果，探□讨无掩模光刻技术在微纳图形设计和器件制备中各种应用。
报告二：纳米尺寸图案直写利器 - 基于扫描热探针光刻技术∴的新型二维材料纳米器件制备
纳米图案化和转移方法在纳米器件制备和性能研究中起到关键作用，传统的纳米器件制作方法通常由←于存在电子的注入而导致器件损伤，无法实现真正高效无损的3D直写，严重的影响了器件真实【性能的评估和后续科研工作的开展。最新发展的扫描热探针纳米直写技术因其独特的热探针直写方式，在具备纳米级直写精度的同时，还具有无需显影操作、闭环刻写、高精度套刻、小尺度材料改性等→技术优势，充分满足前沿微纳电子学、微纳流控、微纳机电等研究领域的纳米器件制备需求。在本报告中Ψ，我们将分享近年来一系列发表在《nature》，《science》等顶级期刊上的最新科研成果，从原理、应用及拓展等多个维度讨论基于扫描热探针光刻的纳米直写技术在科研领域↓的重要应用。
[注册链接]
[主讲人介绍]
张永圣 博士
博士毕业于中国科学ω 院物理研究所，从事磁性超薄膜材料、磁各向异性及超快动力学方面＠ 科研工作。目前在Quantum Design中国子公司主要负责无掩模光刻，基于扫描热探针的纳米高速直写机等微纳加工及表征设备的高级销售与应用支持工作，对微纳加工和表征有着深刻的理解。
[报告时间]
开始 2020年04月22日 14:00
[直播好礼]
看直播赢好礼，更多大奖：蓝牙运动◎手环、智能测温水杯、多功能数据◆线... ...
