2012年12月27日，中国科学院重大科技基础设施维修改造项目“软X射线干涉光刻分支线站的建设”验收会在中科院上海应用物理研究所张江园区召开。会议由计划财务局潘锋副局长主持，来自复旦大学、中科院物理所、中科院化学所、苏州大学、中国科技大学、中科院办公厅、中科院档案馆、中科院计划财务局、近代物理所、高能物理所等单位的11位专家组成审核专家组，复旦大学张新夷教授任组长。中国科学院计划财务局、基础科学局、大装置办公室的相关领导出席了本次会议。
专家组听取了项目负责人邰仁忠研究员所作的验收总结报告，由中科院物理所麦振洪研究员代表测试专家组☆宣读工艺测试结果及测试专家意见，随后进行了现场考察，查看』了工艺、档案、财务和设备资料。经过讨论和答疑，验收专家一致认为，项目各项工艺指标均达到任务书中的验收指标，部分优↙于验收指标;经过近一年的试运行，系统稳定、可靠;项目完成了仪器设备建设任务，做到了账物相符;项目经费使用基本合理;项目文件材料收集齐全，签字手续完备⌒，案卷质量符合规范，反映了项目建设的全过程。验收专家组一致同意通过验收。
“软X射线干涉光刻(XIL)分支线站建设项目”是上海光源承担的中国科学院大科学装置维修改造项目。项目的主要任务是在上海光源软X射线谱学显微光㊣ 束线站(BL08U-1A)的基础上，建设XIL分支光束线和实验站，充分拓展主线站(BL08U-1A)的用途，建立大面积、高分辨的微、纳加工技术。XIL与主线站结合，可以使纳米结★构的制备、组装和结构表征、观察在同一条光束△线站上完成，为用户提供一个研究纳米材料和器件的一体化平台。项目于2009年4月正式启动，至2011年底所有设备安装在线调试完毕，2012年1月对用户开放试运行，2012年11月29日通过了院基础局组织的工艺测试。
