nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台，满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外，nanoEM还■具有极大的拓展空间，虽然作为台式设备，nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源，系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求，可升级成为一台多功⊙能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。
主要特点：
◎ 能够达到学术研究级的多功能喷金仪
◎ SEM托、TEM网、普通样¤品多种专用样品台可选
◎ 可安装两个2英寸溅射源
◎ 通用的溅射靶材
◎ 本底真空<5×10-7mbar
◎ 流量计精确控制生长气々氛
◎ 可调式DC溅射源，输出功率可达300W
◎ 全自动，引导式触屏控制
◎ 完备的安全性█设计
◎ 易于维护
◎ 兼容超净室
◎ 稳定的性↘能表现
系统选件：
◎ 腔体视窗
◎ 真空泵型号可选
◎ 气压全自动≡控制系统
◎ 溅射源挡板
◎ 等离子体辉光电极
◎ 样品←台旋转与倾斜
◎ 晶振膜厚监测系统
相关产品：
台式高性能CVD石墨烯/碳纳米管快速制备系列—nanoCVD：/v2v8n5/product/2020061627.shtml
台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD：/v2v8n5/product/2020061623.shtml
台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH：/v2v8n5/product/2020061629.shtml
台式精准气氛\压力控制高温退火系统—ANNEAL：/v2v8n5/product/2020062923.shtml
