JSX系列箱式磁控溅射镀膜设备
JSX系列箱式磁控溅射镀膜设备是一种小型多功能、智能高效的镀膜设备。主要针对小型玻璃基片工作。适合科研单位、实验室和小型高精度元件的制作。可按用户要求配置小型圆柱靶、小型矩形平面耙，组态灵活，主要用于金属或玻璃的工件镀铝♀、铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜，可广泛用于表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。
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型 号 | CKX-400 | ?CKX-500 | CKX-600 |
镀膜室内尺寸 | Ф400X450 | Ф500X550 | Ф600X650 |
极限真空 | 10-4Pa | 10-4Pa | 10-4Pa |
抽气时间 | 常温抽至5X10-3Pa,小于15分钟 | ||
溅射靶 | 一（二、三）圆柱靶或者一（二、三）平面靶 | ||
溅射方式 | 从上往下溅或者从下往上溅 | ||
烘烤方式 | 碘钨灯加热或管状加热器 | ||
高压轰击 | 3000V 300MA | 3000V 300MA | 3000V 300MA |
真空系统 | 闸板阀 分子泵 直联泵（可以按客户要求配制） | ||
配置可以由用户选配，并可由用户订造其他规格。 |
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