ETD-100AF型高真空热蒸发镀膜仪
采用电阻式蒸发原理，利用大电流加热钼舟或钨丝蓝或固定支架上的镀膜材料，使其在高真空下㊣蒸发，沉积在被镀样品上以获得最佳镀膜效果。 适用范围： 电子显微镜样品制备和清洁光栏，以及科研、教学和企业中的实验活动、工艺试验。 使用了大抽速、高压缩比、自然风冷却复合分子泵，确保喷镀时能够迅速抽掉蒸发源和样品放出的气体；正常情况下喷镀室内极少有油蒸气回流，非常清洁。
配有高〓位定性的飞跃真空泵，涡轮分子泵
ETD-100AF is a high vacuum thermal evaporation type small film coating machine. By using the principle of resistance evaporation, the coating material on the molybdenum boat or tungsten blue or fixed bracket is heated by high current, so that it is evaporated under high vacuum and deposited on the plated sample to obtain the best coating effect. Scope of application: Sample preparation and cleaning of optical microscope, as well as scientific research, teaching and experimental activities and process tests in enterprises. A compound molecular pump with large pumping speed, high compression ratio and natural wind cooling is used to ensure that the evaporation source and the gas from the sample can be removed quickly when the spray plating is sprayed.
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沉积快
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ETD-100AF
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高真空
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机械泵 |
靶材 |
蒸镀电流 |
加热功率 |
样品仓尺寸 |
极限真空 |
极限真空 |
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前级为飞跃真空泵，后级为复╱合分子泵
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碳、金等 |
最大电流 100A,最大电压10V |
1000W
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直径230mm，高280mm
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2*10Pa
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2*10Pa |
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电子束敏感的样品电子束敏感的样品
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主要包括生物样品， 塑＠ 料样品等。S EM 中的电子束具有较高能量， 在与样品的相互作用 过程中，它以热 的形式将部分能量 传〓递给样品。如果 样品是对电子束敏感 的材料，那这种相 互作用会破坏↘部分 甚至整个样品结构。 这种情况下，用一种 非电子束▲敏感材料 制备的表面镀层就 可以起▃到保护层 的作用，防止此↓类损伤；
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非导电的样品
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由于样品不导电，其表面带有々“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描︼电镜成像时，溅射材料增加⌒信噪比，从而获得更好的成像质量。
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新材料
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非导电材料实验电极制作观察导电特性
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