ETD-900 型离子溅射仪外观亮丽
做工精致，
旋钮式◎定时器档位清晰，手感舒适；特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大气，具有欧洲典雅风范；前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体；调节溅射电流大小，成膜速度【快，质量好；功能控制和定时皆由CPU调度，使用范围广。
工作时结合内部自动控∴制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。
配有高位定√性的飞跃真空泵
“ETD-900,The utility model has comfortable hand feeling, strong practicability, easy implement, novel construction, simple structure.
The micro leakage valve on the front panel can connect various gases; The sputtering current is regulated, the film speed is fast and the quality is good.;
Functional control and timing are all scheduled by CPU, with a wide range of applications.
It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.
High qualitative jump vacuum pump
| 溅射气体 | 溅射靶材 | 溅射电流 | 溅射速率 | 样品〇仓尺寸 | 样品台尺寸 | 工作电压 |
| 根据→实验目的可添加氩气，氮气等多种气体。 | 标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 |
最大电流 50mA,最大工作电▲流30mA |
优于4nm/min |
直径160mm，高120mm |
样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定♀制样品台 |
220V (可做110V), 50HZ |
需要镀膜的样品
| 电子束敏♀感的样品 | 非导电的样品 | 新材料 |
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主∮要包括生物样品， 塑料样品等。S EM 中的电子束具有较高能量， 在与样品的相互作用 过程中，它以热 的∮形式将部分能量 传递给样品。如果 样品是对电子束敏感 的材料，那这种相 互作用会破坏部分 甚至整∴个样品结构。 这种情况下，用一种 非电子束敏感材料 制备的表面镀层就 可以起到保护层 的作用，防止』此类损伤； |
由于样品不导电， 其表面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子 积累∏被称为“充电”。 为了消除荷▼电效应， 可在样品表面镀一▽层 金属导电层，镀层作为 一个导电〗通道， 将充电电子从材 料表面转移∑走， 消除荷电效应。 在扫描电镜▲成像时， 溅射材料增加 信噪比，从而获 得更好的成像质量。 |
非导电材料实验电极 制作观↑察导电特性 |
