压电纳米定位→ 压电红外扫描器 -研生-全国供应中国制造 技术领先
二维纳米级 压电红外扫描器 ║P41系列
行程:XY18μm
P41系列是采№用压电陶▲瓷驱动的二维纳米级精密扫描台,平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向㊣ 系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,平台具有极佳的运动精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促□动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的∮惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的集成于红外热成像№扫描系统中。
产品特点:
◆紧凑的外形尺寸,超大的中空尺寸,结构紧凑,易于集成;
◆ 采用无摩擦高精度并联式柔性铰链导向系统,质量更轻,惯量更低,动态性更高;
◆内置高性能╱的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 默认提供开环版本,可定制闭环版本。
产品应用:
红外』热成像系统 • 激光定位 • 表面扫描 • 光学扫描 • 干涉测量 • 纳米定位
辽宁研★生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封⌒ 装型压电陶瓷/促动器、压电纳米★定位台/扫描台、压∏电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压∮电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促≡动器、压电点胶〓阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压』电陶瓷驱动↙/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富,运动自由▂度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ],运动行程从几微米至几千微米,承载能力从↑几百克至几百千克,推/拉力从几牛顿至几千牛顿,具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联々式结构等,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,主要技术指标已达到国ξ 际先进水平,可完美地替代进口产品。
研生科技的产品和技术主要应用卐于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微◆成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精︼密加工、先进自动化⌒等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密√加工等的高精密装备制造商。