压电显微扫描台 压电扫描台 压电纳米定√位-研生-中国制造 技术领先
Z向纳米级 压电显微扫描台 ║P28系列
行程：Z500μm
P28系列是采用压↑电陶瓷驱动的Z向纳米级显微扫描台，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分◥辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设□ 计，且中央通孔较大，专为安放载玻片或样品皿设计，可更好的集成于显微及扫描系ぷ统中。通过优化设计，更好的匹配主流制造商设计的▂产品。
产品特点：
◆ 外形尺寸：超大的中空尺寸；
◆ 采用无摩擦、无回差的柔性铰链导向∩系统，具有超高的导向精度；
◆内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
产品应用：
显微扫描、跟踪 • 三维成像 • 高分辨率显微★镜 • 共聚焦显微镜 • 生物技术 • 纳米定位 • 干涉 • 计量
辽宁研生科技有限公司自主█研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位▓台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电→光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫∮描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床●微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶╳瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从◥几微米至几千微米，承♀载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛☆顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量▓级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代▽进口产品。
研生科技的产品和技术↘主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学》系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精△密加工、先进自动化等领域。广泛服←务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制⊙造商。
