压电偏摆镜 压电偏转镜 超大摆角120mrad - 研生 中国制造 技术领先
二维纳米级光束 压电偏转镜 ║P35系列
行程：θXθY120mrad
P35系列是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电偏摆镜，压电偏摆镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点】，超大偏转角设计，偏转范围达120mrad，摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置◎反馈，确保了摆镜具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间【仅为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成于∩光学系统中。可根据用户需求定制安装及出线方式。
产品特点：
◆紧凑的外形尺寸，结构紧凑，易于集成；
◆ 采用◤无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统，具有超高的导向精度；
◆内置高性能的压电▆陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环◣可供选择，可提供定制安装及出线方式。
产品应用：
图像处理/稳定 • 隔行扫描，抖动 • 激光扫描 • 光束偏摆/稳定 • 激光通信 • 光过滤/转换 • 纳米定位
辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶ㄨ瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定︼位台/扫描台、压电▃平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转〇镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外●微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压¤电螺旋促动器、压电点胶阀、压电＠机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维◥至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几♀百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更≡优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指㊣标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。
研生科技的产》品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装≡、光学跟踪与扫⊙描、超精密加工、先进自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工』设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。
