压电纳米定位 压电红外扫描器 -研生-全国供应中国制造 技术领先
Z向纳米级精密扫描台║P52系列
行程：Z500μm
P52系列是采用压电√陶瓷驱动的Z向纳米级精密扫描台，扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰■链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，平台内置〗精密位移传感器进行全闭环◥的位置反馈，确保了平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米♂量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设ζ 计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
产品特点：
◆ 超薄的外形尺Ψ寸，超大的中空尺寸；
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统；
◆内置高性能↘的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供▓选择。
产品应用;
扫描显微镜 • 掩膜/晶圆定位 • 计量学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微操作
辽宁研生科⌒ 技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封←装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚╲焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分∞头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位』移传感器、压电陶№瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
研※生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具∏有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。
研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造△与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子〓对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、先进自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所【以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。
