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                等离子体增强回】转炉BTF-1200C-R-PECVD

                等离子体增强回转◆炉BTF-1200C-R-PECVD
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                BTF-1200C-R-PECVD
                高教
                安徽 合肥 蜀山区
                详细说明

                1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

                2.可左∴右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。

                3.该款设备◇是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控↑温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针ω对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物♀料不均匀堆积现象。

                等离子体增强回转炉BTF-1200C-R-PECVD


                型号BTF-1200C-R-PECVD
                显示模式7"液晶触屏显示
                最高温度1100℃
                升温速率10℃/S
                控温精度±1℃
                加热元件电阻丝
                热电偶K型
                控温方式7"液晶触屏与ぷ工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化【30段可编程控制,具有超温和断偶报警功◤能。
                炉管尺寸Φ60*420*2+Φ100*360mm
                炉管转速3~13r/min
                倾斜角度0~35°
                加热功率3KW
                射频功率输出范围0~500W
                供气系统标配三路质量■流量计(50/100/200sccm)
                供电电源220V50Hz
                通讯接口USB
                外形尺寸1600mm*650mm*1400mm
                设备净重约220KG


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