管式炉 | 炉管尺寸：外径φ50 加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Alloy doped by Mo） 加热区长度：440mm 恒温区长㊣ 度：200mm（±1℃） 工作温度：1100℃ 温度：1200℃ 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 控温精度：±1℃ 升温速度：20℃/min 炉门结构：开启式 工作电源：AC220V/50Hz 额定功率：3KW |
射频电源 | 信号频率：13.56MHz±0.005% 功率输出范围：5W-500W 反射功率：200W 射频输出接口：5Ω，N-type，female 功率稳定度：±0.1% 谐波分量：-50dbc 供电电压：单相交流（187V-253V），频率50/60Hz 整机效率：≥70% 功率因素：≥90% 冷却方式：强制风冷 |
供气系统 | 外形尺寸：600*600*650mm 连接头△类型：双卡套不锈钢接头 标准量程（N2）：100sccm、200sccm、500sccm 准确度：±1.5% 线性：±0.5%~1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1~4Sec，电特性：10Sec 工作压差范围：0.1~0.5MPa 压力：3MPa 接口：φ6，1/4" 显示：4位数字显示 工◆作环境温度：5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：φ6 压力真空表：-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格 截止阀：φ6 |
低真空机组 | 技术参数： 功率：0.4KW（4级） 极限压力：5*10-1（Pa） 外型尺寸：600*600*650mm 电阻真空计参数： 1.配用规管：电阻规 2.测量范围：105—5*10-1Pa 3.测量路数：1路 4.控制范围：5*103—5*10-1Pa 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A（或DC28V/3A)无感负载 6.电源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz 7.功耗：20W |
预热炉 | 工作温度：350℃ 温度：400℃ 升温速率：30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制 |
