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                Horiba Z524MGM数字@ 式质量流量控制器◥、流量计

                Horiba Z524MGM数字式质□ 量流量控制器、流量计
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                • Horiba Z524MGM数字式质量流量♀控制器、流量计
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                详细说明

                Horiba Z524MGM数字式质量流量控制器、流量计

                畅销型号: SEC-Z514MGXSEC-Z524MGM

                可选低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGM

                可选低成本模拟型:SEC-E40SEC-E50SEC-E60SEC-E40MK3

                本公司非该网站会员,您的留言无法◥看到。宋

                SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM属于SEC-500X系列,多种气体及多种↘流量范围数字式质量流量控制器
                高性能高端数字式质量流量控制器

                主要特性
                1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
                2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
                3) 快速响应:< 1秒 (全量程范围内,任意》设置点);
                4) 非常方便的现场设置操作;
                5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以最大限度地减少库存;
                6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
                7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

                气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型);

                SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封),PTFE(聚四氟♂乙烯),磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

                满量程流量
                SEC-Z512KX: 1/2sccm
                SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
                SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
                SEC-Z532KVX: 100slpm
                SEC-Z542KVX: 200slpm

                特点

                 质量稳定性

                HORIBA STEC. 工业领先商优质的稳定性

                HORIBA STEC, 是一个全世界设备制造商的欢呼品牌,其中一个体现就是HORIBA STEC不断↘供应高质量,高稳定性产品来满足高规格的标准。

                  可靠供应

                HORIBA STEC 通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备:

                Kyoto,作为HORIBA STEC的总部;

                Aso,HORIBA集团的主要制造工厂,以生产最新设备为特色;

                以及两个位于美国(CA,TX)基地,作为超快供应商。

                  全球支持

                全球网络机构值得信赖的支持系统

                通过全世界的网络分支机构,HORIBA STEC的技术工程师为所有HORIBA STEC产品提供完全支持。

                 RoHS 标准

                符合所有RoHS 规定

                规格-数字-模拟转换模式

                型号*1

                SEC-Z512、Z514

                SEC-Z512MGX

                SEC-Z522MGXN

                SEC-Z522MGX

                SEC-Z514MGX

                SEC-Z524MGXN

                SEC-Z524MGX

                全标准流量
                (N2 转换流量)

                1/2SCCM


                10SCCM-10SLPM

                10-50SLM

                阀门类型

                O: 通常打开 C: 通常关闭

                完全关闭控制阀时的流量

                ≤ 2% F.S.

                流量测量范围

                0-100% of F.S.

                精确性*2

                ±1.0%F.S.

                ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

                ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

                工作温度

                5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)

                响应

                ≤ 1 秒:超过全流量范围

                直线性

                ≤ ±0.5% F.S.

                反复性

                ≤ ±0.2% F.S.

                工作压差值

                ≤ 300 kPa (d)

                最大工作压力

                450 kPa (g)

                耐压

                1000 kPa (g)

                外部泄漏率

                ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

                流量设定信号

                0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高

                流量输出信号

                0 -5 V DC (0% - F.S.); 最︾小负荷阻力 2 kΩ 或更高

                数字界面

                地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)

                F-Net 协议,DevceNet

                接液部材质

                316L 不锈钢(表面抛光)

                电源

                +15V±5% 150mA

                -15V±5% 150mA

                信号反应

                模拟: D-Sub 9-pin (TOP)

                数字: 2 LAN jacks (TOP)

                标准接头*3

                1/4 inch VCR

                1/4 inch VCR

                1.5 inch IGS

                选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

                可选1.125 inch IGS

                安装方向

                自由

                *1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
                *2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
                *3IGS: 完整气体系统
                *SCCM 和 SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

                本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器

                Horiba Z524MGM数字式质量流量控制器、流量计

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