畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
概要
· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3
技术规格
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型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
SEC-E40、SEC-E40MK3 |
SEC-E50、SEC-E50MK3 |
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SEF- (质量流量计) |
SEF-E40 |
E50 |
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适用气体种类*1 |
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) |
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气体接触部材质 |
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 |
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阀门型号 |
非通电时 关闭 |
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标准流量量程 (N2相应F.S.) |
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
20/30 SLM |
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流量控制范围 |
2?100% F.S. |
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流量测量范围 |
0?100% F.S. |
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响应速度 |
1秒以内(T98) |
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流量精度 |
±1% F.S. |
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直线性 |
±0.5% F.S. |
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反复性 |
±0.2% F.S. |
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工作差压值值 |
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) |
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使用压力 |
300kPa(G)以下 |
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耐 压 |
1MPa(G)以下 |
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外部泄漏率 |
1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
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使用环境温度 |
5?50℃(精度的确保：15?35℃) |
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流量设定信号 |
0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. |
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流量输出信号 |
0?5VDC(最小负荷电『阻2kΩ) |
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驱动电源 |
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
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标准接头*2 |
1/4SWL 类型 |
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型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
SEC-E60 |
SEC-E70 |
SEC-E80 |
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SEF- (质量流量计) |
E60 |
E70 |
E80 |
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适用气体种类*1 |
N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 |
N2、O2、Air、H2 |
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气体接触部材质 |
SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢 |
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阀门型号 |
非通电时 关闭 |
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标准流量量程 (N2相应F.S.) |
50/100 SLM |
200 SLM |
300/500 SLM |
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流量控制范围 (适于SEC系列) |
5?100% F.S. |
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流量测量范围 (适于SEF系列) |
0?100% F.S. |
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响应速度 |
1秒以内(T98) |
2秒以内(T98) |
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流量精度 |
±1% F.S. |
±2% F.S. |
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直线性 |
±0.5% F.S. |
±1% F.S. |
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反复性 |
±0.5% F.S. |
±1% F.S. |
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工作差压值值(适于SEC系列) |
100?300kPa(d) |
200?350kPa(d) |
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使用压力 (适于SEF系列) |
350kPa(G)以下 |
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耐 压 |
1MPa(G)以下 |
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外部泄漏率 |
1×10-7Pa?m3/s(He)以下 |
450kPa(G)加压10分钟减压1%以内 |
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使用环境温度 |
5?45℃(精度的确保：15?35℃) |
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流量设定信号 |
0.25?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. |
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流量输出信号 |
0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) |
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驱动电源 |
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
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标准接头*2 |
3/8SWL 类型 |
1/2SWL 类型 |
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*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
