压电陶瓷 压电纳米定位平台 -研生 中国制造 技术领先
三至六维纳米级精密定位系统 压电纳米定位台 压电平台 ║P68系列
P66/P68系列系列是采用压电陶瓷驱动的◥三至六维并联式纳米级精密定位平台，平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向↘机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和◢稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计 ， 结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具↑有相同的动态性ζ。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动♂态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。
产品特点：
◆ 外形尺☆寸紧凑，超大的中』空尺寸；
◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统，具有超高的导向精度；
◆内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环◣可供选择。
产品应用：
扫∑描显微镜（SPM） • 干涉 • 计量 • 掩模/晶圆定位 • 度量衡学 • 生物技术 • 显微光学 • 激光技术 • 微操作
辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶㊣ 瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电①平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏●转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚╲焦/扫描器、压电红外●微扫描器、压电微操作钳、压电微〓分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床＠微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位◆移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
研※生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克♀，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具卐有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更≡优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。
研生科技的产》品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子〖对准与封装、光学跟踪与扫⊙描、超精密加工、先进自动化等领ζ 域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检【测设备、激光加工设♂备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。
