系统包括：
1，负压取样系统
2，六通阀进样系统
3，色谱分析系统
4，数据采集和处理系统。由于氟气中含有腐蚀性极强的HF，所以该色谱配备了两台耐腐蚀的热导，全部采用阀进样，所有样品经过的地方都采用了防吸附处理。
主要特点：
负压取样系统中，样品吸附罐和连接管道都是采用耐腐蚀的316L不锈钢，电磁阀采用聚四氟材料。其真空漏量小于0.001KPa/h，安全级别绝对达到实验室要求。
六通阀和四通阀均采用VICI公司的1/8阀件，
分析系统配备两台热导。
数据采集和处理系统用反控软件，上面加有6路事件可分别控制阀件和真空泵
