■ 功能特点
■ 可以实现高温、真空、气氛等条件下测量薄膜方块电阻;
■ 可以实现常温,变温,恒温条件的 I-V、R-T、R-t等测量功能;
■ 可以通过输入样品的面积和厚度,软件自动计算样品的电阻率ρv;
■ 可以分析电阻率ρv与温度T的变化的曲线;
■ 可以与Keithley 2400或2600数字多用表配套;
为了更方便的研究高温条件下半导体或绝缘材料的导电性能,佰力博科技已经研发出HRMS-800G高温四探针测量系统,该系统可『以测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率、测定硅外延层、扩散层和离〓子注入层的方块电阻以及测量︽导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻,,该〓设备按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于变温、真空及气氛条件下测试半导体材料电学性能的最佳测量系统。