1、概述
KDY-2型两探针电阻隔率测试仪(以下简称两探针仪)是按照我国国家标准及美国材料与试验协会(ASTM)推荐的材料验收检测方法“两探针法”设计。它适合于测量模截面尺寸是可测量的,而且棒的长度大于横截面线度的有规则的长棒,例如横断◇面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出,远离ω电压测量探针,因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应(如珀尔帖效应、塞贝ω 克效应、少子注入效应等),对测量的影响较※小,因此两探针法的测量精度一般优于四探针法。特别是对多晶材料的测量,由于多晶晶粒间界处,杂质局部偏析可能】导致电阻率较大变化,这种影响对四探针法更为严重,故不推荐用四探针法测量多晶材料的电阻率。
本仪㊣器主要由电气测量部份(简称:主机)、测试台及两探针头组成。仪器∑ 的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适□时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测①量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有◣恒流开关,在测量某些材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花∴的发生,更好地保¤护被测材料。仪器配置了本公司的专利产品:“小游移探针头”,间距为1.59mm的两探针头探针游移率在↘√0.2%以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机可配用HQ-710C数据处理器,置入必须的数据后,处理器会配合探头在硅棒上移动测量,自动计算、打印出各点的▼电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的最大值、电阻〗率最小值,给测量带来很㊣大方便。
2、主机技术参数
(1)测量范围:
可测硅晶体电阻率:0.005-50000Ω?cm
可测硅棒尺寸:最大长度300mm;直径20mm(均可按用户要求更改)。
(2)恒流源:
输出电流:DC0.001-100mA 五档连续可ぷ调
量程:0.001-0.01mA(1-10μA)
0.01-0.1mA(10-100μA)
0.1-1.0mA
1.0-10mA
10-100mA
恒流精度:各档均优于±0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:0-199.99mV
灵敏度:10μA
基本误差:±(0.004%读数±0.01%满度)
输入阻抗:≥0.3%
(4)电阻测量误差:≤0.3%
(5)两探针头:KDT-9
探针间距:1.59±0.01mm 探针直径Φ0.8mm
游移率:<0.2% 探针材料:硬质合金(WC)
探针压力:3±1N/单针
(6)供电电源:
AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率:12W
(7)使用环境:
温度:23±2℃ 相对温度:≤65%
无较强的电场干扰,无强光直接照射。
(8)重量、体积:
主机重量:7.5Kg
体积:390×340×190(单位:mm 长度×宽度×高度)