1、概述
LT-1高频光电导少数载流子寿命测试仪是参照半导体设备和材料国际组织SEMI标准(F28-75)及国家标准GB/T1553-1997设计制造。本设备采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,由于对样块体形无严格要求,因此广泛应用于工厂的常规测量。寿命测量可灵敏♀地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况,是单晶质量的重要检测项目。
2、设备的组成
寿命测试范围:10~6000μs
按测量标准对仪器设备的要求,本仪『器设备配有:
2.1 光脉冲发生装置
重复频率>25次/s 脉宽≥60μs 光脉冲关断时间<5μs
红外光源波长:1.06~1.09μm(测量硅单晶) 脉冲电源:5A~20A
2.2 高频源
频率:30MHz 低〓输出阻抗 输出功率>1W
2.3 放大器和检波器
频率响应:3Hz~1MHz
2.4 配用示波器
配用示波器:频带宽度不低于10MHz Y轴增益及扫描速度均应连续可调
如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长↑的光源
整机体积、重量、电源
主机外形】尺寸:W470×D365×H155
总重量:12Kg
电源:~220V 50Hz 功耗<50W