本产』品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制︽中的气体流量的♀精密测量和控制。
1.1 使用范围
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量⊙测量功能，不具备气流╱控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点
☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术〒基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采＠ 用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特◆点。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂↘的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压▲力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐▃腐蚀性强。
☆可任意角度】安装。
☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。
配合MT-50或51系列流量显示仪々，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。
S48 300/HMT数字流量控制器技术指标
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编号 |
项目 |
S48 300/HMT |
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1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁█调节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
安装角度 |
任意 |
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5 |
流量控制范围 |
2%-100%F.S. |
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6 |
流量测量范围 |
0-100%F.S. |
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7 |
响应时间 |
≤ 1 sec |
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8 |
工作环境温度 |
5-50℃ |
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9 |
精度保证温度 |
15-35℃ |
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10 |
精度 |
±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
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11 |
线性精度 |
±0.5%F.S. |
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12 |
重复性 |
±0.2%F.S. |
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13 |
工作压差 |
-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
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14 |
耐压 |
3MPa(G) |
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15 |
泄漏率 |
＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
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16 |
接触气体材料 |
316L，Viton® 氟橡胶，PTFE |
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17 |
管路接头 |
Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
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18 |
供电电源 |
±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
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19 |
设定信号 |
数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ |
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20 |
流量︼输出信号 |
数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA |
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21 |
通讯接口 |
数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15 |
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22 |
重量(kg) |
0.9 |
