1. 特点及应用领域
气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49系列质量流量控制★器(流量计)特点：
*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高精度
*重复性好
*响应速度〓快、软启动、稳定可靠
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装
*便于与⊙计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等
许可证编号：京制01050063号
3．主要技术指⊙标
质量流量控制器(流量计)出厂通︻常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: 标准状态 mL/min (毫升/分钟) (SCCM行业标准)
标准状态L/min （升/分钟） (SLM行业标准)
标准状态⌒规定为:温度 --- 0℃
气压 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示满量程值
表1 S49 33M/MT型质量▲流量控制器(流量计)技术指标
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编号 |
项目 |
S49 33/MT |
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1 |
流量规格 |
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min |
(15,20,30) L/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止位置 |
常闭 |
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4 |
准确度 |
± 1.0% F.S |
± 2.0% F.S |
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5 |
线性 |
±1.0 % F.S，±2.0 % F.S |
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6 |
重复精度 |
±0.2 %F.S |
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7 |
响应时间 |
≤8 s（T95） |
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8 |
工↓作压差范围 |
(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa |
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9 |
耐压 |
3 MPa ﹑ 10 MPa |
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10 |
工作环境温度 |
5℃ ～ 45℃ |
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11 |
材料 |
不锈钢316L |
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12 |
标准密封材料 |
Viton®﹑EPDM, 或其他 |
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13 |
漏率 |
1×10-8 Pa.m3/s |
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14 |
接头 |
Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 |
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15 |
输入输出∞信号 |
0 V ～ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
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16 |
电源 |
+15 V 50 mA -15V 200 mA |
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17 |
外形尺寸 mm |
134×134×38 |
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18 |
重量 kg |
1.2 |
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注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量☉范围，供用户选择※，也可根据用户提出流量定制。
