| 编号 | 项目 | S48 28/HMT气体质量流量计，气体质量流量控制器 | |
| 1 | 流量规格 | (100,150,200)L/min | |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | |
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 | |
| 4 | 安装角度 | 任意 | |
| 5 | 流量控制范围 | 5%～100% | |
| 6 | 流量测量范围 | 0～100% | |
| 7 | 响应时间 | 2s（T98，设定值的±2% F.S.） | |
| 8 | 工作环境温度 | 5℃～50℃ | |
| 9 | 精度保↘证温度 | 15℃～35℃ | |
| 10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
| 11 | 线性精度 | ±0.5%F.S. | |
| 12 | 重复性 | ±0.2%F.S. | |
| 13 | 工作压差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa | |
| 14 | 耐压 | 3MPa | |
| 15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa?m3/s （He） | |
| 16 | 接触气体材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡胶 | |
| 17 | 管路接头 |
Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ |
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| 18 | 供电电源 |
±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA |
+24VDC(宽电压+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供电时) |
| 19 | 设定信号 | (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 20 | 流量输∑出信号 | (0～5)VDC 负载能力≤3mA | |
| 21 | 电气接头 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 22 | 重量(kg) |
2.8 |
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