技术参数
基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面积 Z轴可移动范围
标准平台 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm
多功能平台 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2
X-Y-θ平台 XY范围 最小步长 θ范围 晶圆范围
真空运行平台 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm
标准平台 155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm
快速运行平台 155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm
DUT支架 卡盘 基底 平整度 三轴接头 绝缘层 附加卡盘
150mm卡盘 150mm真空卡盘 晶圆，陶瓷 ＜10μm Yes ＞100GΩ 2个独立的卡盘，且还有一个附ㄨ加卡盘
PCB 150mm宽支架 PCB，移动装置 NA NA NA NA
显微镜支∮架 移动范围（XY） Z方向 最小步长
臂式支架 ＞150mm x 150mm NA NA
LAHS显微镜支架 150mm x 150mm 可选，最大为100mm 2μm
主要特点
1. 结构简单、多功能；
2. 平台配置可满足DC、RF和亚微米№测量；
3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级；
4. 量程大、可配探针配件；
