技术特点：
1.三轴有明显制动开关和手动旋扭，设计符合♂人体工学，操作更简单便捷．
2.双重被动减震，防止低频震动影响，极大的保证了机器测量的精度．
3.三轴全⊙为高度精密花岗岩导轨，整体同比率变化．具有良好的温度稳定性和抗时效变形能力，刚性好、几何变形最小．
4.四面全环抱式气浮轴承设计，运动更稳定，维护简单．
5.独特的气路系统，各轴多气压调节，最佳的保证了机器运行的平稳和精确．
6.可增加CCD镜头为复合式三坐标，一机多用．
测量范围 X 400 400 / 500 400 / 500
(mm) Y 500 600 800
Z 300 300 300
机器重量KG 400 430/480 500/560
最大承载KG 200 220/240 250/280
光栅分辨率 1um
测量精度 um MPEe= 3+L/250 MPEp=3.5
空气消耗 25 L/min
