技术特点：
1.三轴全部高精密的花岗岩导轨与高精密气浮轴承配合使耗气量达到最小！
2.独特的气路系统，机器运行更稳定，更精确，维护也更简单！
3.三轴全封闭导轨，防止环境影响．四面环抱式自洁空气轴承，保证了机器无ζ 摩擦平稳运行！
4.双重被动减震结构，防止低频震动影响，极大的保证了测量的精度．
5.内置钢丝增强同步带，让机器的动态○性能更加优越，非常适合高速扫描．
6.测头系统从触发到扫描以及非接触「激光测量都可选择，更配套探针更换架．
7.含CCD镜¤头复合式测头可供选择．
测量范围 X 500 600 700
(mm) Y 600/800 800/1000 1000/1200
Z* 400 500 500
机器重量KG 400 430/480 500/560
最大承载KG 450 500/550 600/650
光栅分辨率 0.5um
测量精度 um MPEe= 1.5-2.2+L/350 MPEp=1.5-2.2
空气消耗 25 L/min
* Z轴可依据客★户需求提高高度100或200mm
