型号 | XY-IGPS-30 | XY-IGPS-60 | XY-IGPS-200 |
坩埚容积(mm)(直径×高) | Φ100×150 | Φ150×200 | Φ200×400 |
电源功率 (KW) | 30 | 60 | 100 |
电源频率 (HZ) | 8000 | 6000 | 4000 |
最高温度 (℃) | 3000 | 3000 | 3000 |
极限真空度(Pa) | 1.2×10-3 | 1.2×10-3 | 1.2×10-3 |
压升率 (Pa/H) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
恒温区温差(℃) | ±10 | ±10 | ±10 |