|
t
|
单位
|
KGPS-60
|
KGPS -100
|
KGPS -160
|
KGPS -200
|
KGPS -250
|
|
坩埚有效容积
（直径×高） |
mm
|
Φ50×300
|
Φ200×350
|
Φ300×500
|
Φ400×750
|
Φ500×1000
|
|
中频电源功率
|
Kw
|
60
|
100
|
160
|
200
|
250
|
|
中频㊣电源频率
|
Hz
|
8000
|
4000
|
4000
|
2500
|
2000
|
|
最高工作温度
|
℃
|
3200
|
3000
|
3000
|
3000
|
2600
|
|
极限真空度
|
Pa
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
|
压升率
|
Pa/h
|
2
|
2
|
2
|
2
|
2
|
|
恒温区温◤差
|
℃
|
±10
|
±10
|
±10
|
±10
|
±15
|
