型号 | XY-KGPS-100 | XY-KGPS-160 | XY-KGPS-200 | XY-KGPS-250 |
坩埚容积(mm)(直径×高) | Φ200×300 | Φ450×700 | Φ550×700 | Φ650×750 |
电源功率 (KW) | 100 | 160 | 200 | 250 |
电源频率 (HZ) | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
最高温度 (℃) | 2200 | 2200 | 2200 | 2200 |
极限真空度(Pa) | 1.2×103 | 1.2×103 | 1.2×103 | 1.2×103 |
压升率 (Pa/H) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
恒温区温差(℃) | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |