可对应12英寸晶圆的聚焦离子束系统。全自动的加工软件，高清晰度的观察，高精度的样品加工，大大的提高了晶圆制作过程中的失效检查效率和质量。
特点
1.标准配置预抽样品室。
2.搭载300mm行程5轴自动对中倾斜样品台。能够在300mmWafer的全部区域进行断面加工观察。因为没有Wafer破断的必要，所以能够进行和Wafer的电力特性测定并行的样品断面形状观〒察和配线变更。
3.根据各种样品架，最大可以对300mm的各种形状的样品进行观察分析。
4.利用任意选择的各种自动加工软件，能够实现高精度高效率的TEM样品制备等
