技术指标：
1．测量范围：（可选）
XY=10,20,30或50 mm；最大可选350 mm
Z=10或20 mm
2．分辨精度：1nm
3．移动速度：最快达到2 mm/s
4.探针种类多，从<100nm的探针到球形测试头
5.自动校准探头和控制样品逼近功能。
测量参量：尺寸、粗糙度、形貌等。
主要特点
1.纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。
2.测量量程跨越纳米⌒ 到厘米,甚至分米级。
3.多功能多参数测量设备，可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。
4.用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。
5.配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。
6.用户可以根据需要灵活设置测量方法，可以进行大面积精确测量，也可以先进行大面积低精测量，然后对特定感兴趣的区域进行高精测量，以节省时间。
7.整个过程非接触的，间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量，对材料性质没有特别要求和限制。
8.布局灵活，根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合，探头也以改变安装方向。
9.如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。
仪器介绍
德国Klocke公司的Nanofinger是一种兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测量系统，系统测量范围大，且具有极高的空间三维精度。可在50mmx50mmx20mm的空间范围内实现分辨率1nm的三維坐标测量，跨越8个数量级。
该设备的除涵盖一般轮廓、形貌测量设备的功能外，最突出的特点是可以进行三维高精度坐标测量，这是其他设备无法做到的。与普通的三坐标测量相比，该设备的测量精度、分辨率要高出几个数量级。
整个3D Nanofinger系统由台架、控制系统、探头、针尖组成。
系统控制单元控制探头沿样品表面移动，以测量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根据需要设』定参数，如探头移动的步长，选择、制定自己的测试模式，以使测量长度、速度、路径、分辨率达到最︾优化。
系统的数据处理能力非常强，可得到多种参数，包括形貌、粗糙度、坐标尺寸等。同时，系统有自动控制能力，可以和超精密微加工、微组装系统组合，例如为微加工系统提供在线检测，以随时控制加工质量。
應用於MEMS微機械、半导体微電子、光學、分子生物學和精密工程，提供大範圍、納米精度的定位、操縱、處理和測量。还可用于微小零件、刀具、模具的精密測量。
