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10 (VEGA II-SBH)
上海品欧贸易有限公司
详细说明
技术参数
1.分辨率:高真空(SE)3.5nm at 30kv,低真空模式(BSE,LVSTD)3.5nm at 30kv 2.放大倍数:4 to × 3.真空系统:高真空<1*10 -2Pa, 4.加速电压0.2kV to 30Kv 5.电子束电流1pA—20uA 6.样品室内部直径:160mm 7.样品台行程: 3轴马达控制 X=40mm——马达控制 Y=24mm——马达控制 Z=27mm——手动控制 Z'=6mm——手动控制 R=360°连续马达控制 T=-90°至 90°手动 最大样品高度30mm.
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主要特点
1.电磁式电子枪自动对中; 2.可以提供四种观察影像模□式:分辨率模式;景深模式;广角模式;鱼眼模式,很方便寻找样品位置; 3.红外线样品室内摄像装□ 置,可以在测量同时观测样品; 4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度●快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 5.采用机械-橡皮◥垫减震系统 6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 7.8个外扩展接口. 8.特有的远〓程控制软件
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VEGA II-SBH适用于对芯片等体积小,重量轻,其表层物质大多为导电材∮料的样品的观察。该机【型分辨率不逊色于同一序列其他机型,且对环◥境要求较低,性价比◢非常高,如果您在寻找低价位,高性╳能的扫描电子显微镜,不妨考虑此型号。
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